炭化ホウ素研磨はサファイアウエハの両面研磨とサファイアベースLEDエピシートのバックライトの減量研磨において優れた性能を示した。 サファイア結晶は強度が高く、硬さが大きいため、加工企業に大きな困難をもたらしました。材料と研磨学界の観点から、サファイア結晶を加工して研磨する一番いい材料は人造ダイヤモンド、炭化ホウ素、シリカです。人工ダイヤモンドの硬度は大在でサファイアウエハを研磨すると表面に傷が生じ,ウエハの光透過に影響し,価格が高い。シリカの硬度が足りなくて、研削力が足りないです。研磨工程に時間がかかります。したがって,炭化ホウ素研磨はサファイア結晶を加工し研磨するのに最も理想的な材料となる。
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